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羅茨泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它於1944年首先出現於德國,是為適應在10~1000Pa壓力範圍內具有大抽速的真空熔煉係統而作為機械增壓泵使用。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了廣泛的應用。